一、项目基本情况

项目名称： 年产半导体刻蚀设备核心部件300台（套）项目

项目地址：安徽省滁州市明光市浮山路86号5栋厂房。

建设单位：安******有限公司

项目概要：安******有限公司项目计划总投资3500******街道浮山路86号明光高端电子信息专精特新园5号厂房面积5000平方米。本项目建设全自动半导体阳极氧化线、超高精密清洗线、刷镀镍设备、电弧喷涂设备、氧化钇喷涂设备和5轴CNC等机加工设备，研发产品主要应用于新型显示、光伏新能源、第三代半导体等多个领域。

二、建设单位名称及联系方式

建设单位：安******有限公司

联系人：李星

联系电话：******

三、环境影响评价报告书编制单位及联系方式

******有限公司

联系人：秦工

联系电话：0551-******

四、预防或减轻不良影响的对策或措施

1、废水治理措施

近期本项目除阳极氧化线产生的废水经过管道收集后依托现有设备进行处理，处理后混合通过园区污水总排口进入市政污水管网，通过市政污水管网进入城东污水处理厂进行处理，处理后排入石坝河。阳极氧化废水经过收集后进入中水回用系统处理后回用于厂区纯水制备工序，不外排。远期项目产生的废水经过收集后依托厂区现有污水处理设施处理，处理后通过市政污水管网进入明光市经开区产城新区污水处理厂进行处理，处理后排入罗岗河。

2、废气治理措施

（1）阳极氧化线酸洗、酸洗以及阳极氧化过程产生的酸雾经过密闭阳极氧化线+槽体侧上方侧吸装置进行收集，收集后的废气厂区原有二层酸洗废气一同进入一套两级碱液喷淋装置处理，处理后通过1根23m高排气筒排放（DA002）；

（2）化学清洗线废气：本项目化学清洗线酸洗、酸蚀过程产生的废气经过密闭化学清洗线+工作槽体侧上方侧吸装置进行收集，收集后进入一套两级碱液喷淋装置进行处理，处理后通过1根23m高排气筒排放（DA004）；

（3）CNC加工废气：新增的CNC加工设备在CNC加工过程产生的油雾（非甲烷总烃）经过机器自带的过滤装置处理后在CNC加工区域内排放；

（4）污水处理臭气：厂区污水处理过程产生的臭气在污水处理区域内排放；

（5）湿式打磨粉尘：本项目湿式打磨设置湿式打磨工作台，打磨过程产生的少量颗粒物经过工作台上方抽风装置抽风进入水帘除尘装置处理，处理后存在车间内排放；

（6）锅炉天然气燃烧：本项目锅炉设置低氮燃烧器，天然气经过低氮燃烧后经过锅炉内部密闭空间收集后通过1根23m高排气筒排放（DA006）。

3、噪声治理措施

项目在满足工艺生产条件前提下，尽可能选用低噪声设备；在总平面布置时利用地形、厂房、声源方向性及绿化植物吸收噪声的作用等因素进行合理布局，充分考虑综合治理的作用来降低噪声污染。

4、固体废弃物治理措施

（1）生活垃圾

厂区内设置垃圾箱，生活垃圾收集后由环卫部门统一清运。

（2）危险废物

厂区设置1个危险废物暂存区，本项目产生的危险废物暂存于厂区内危险废物贮存库，交有危险废物处置资质单位处理。

综上所述，在采取相关的环保措施后，营运期产生的这些环境影响是在可控范围内的。

五、环境影响报告书提出的环境影响评价结论

******有限公司产半导体刻蚀设备核心部件300台（套）项目的建设符合国家产业政策，选址符合环境功能区划，本项目废气、废水、噪声经处理后达标排放，落实环境风险防范措施和应急预案、加强风险管理，对环境的影响可以满足环境功能区划的要求。因此，只要本项目建设严格执行“三同时”，落实各项环保措施和风险防范措施，建成投产后保证各项环保设施正常运行，从环境保护角度论证，本项目建设可行。

六、征求公共意见的主要内容

1、为让公众对项目环境影响有更深入的了解，公众可查阅本项目环境影响报告书，环境影响报告书征求意见稿见附件，纸质版可联系我司或环评单位获得；

2******居民及单位；

3、项目公众意见表的网络链接见本公示附件，可下载填写

4、公众可以通过信函、传真、电子邮件等方式，在10个工作日内将填写的公众意见表等提交我公司，反映与建设项目环境影响有关的意见和建议；我公司和环评单位将对反映的意见认真核实、对待，对良好建议我们将积极采纳，并贯穿于整个建设过程中。

公示时间为自本公告发布之日起10个工作日，恳请公众提出宝贵意见。

******有限公司

******有限公司年产半导体刻蚀设备核心部件300台（套）项目征求意见稿.pdf

建设项目环境影响评价公众意见表微迈思.docx